新华网深圳10月17日电（记者李晓玲）正在此间举办的2025湾区半导体产业生态博览会（湾芯展）上，国家专精特新重点“小巨人”企业深圳市恒运昌真空技术股份有限公司凭借其在半导体设备核心零部件领域的全面技术突破与卓越性能表现，荣获第六届“IC创新奖”技术创新奖，恒运昌带来的射频电源及相关核心技术也成为展会焦点之一。

 　半导体制造中，等离子体射频电源系统长期被国外巨头垄断。这个细分领域技术壁垒高，涉及多学科交叉，研发周期长，且对产品一致性和稳定性要求严苛。

 　经过十余年的持续研发、创新和积累，国内射频电源行业龙头企业恒运昌通过核心技术攻关，构建了涵盖信号采样及处理、相位锁定、同步控制、快速调频、脉冲控制等等离子体射频电源系统运行中的关键技术体系，形成了三大基石技术和八大产品化支撑技术，实现了核心技术的完全自主可控。

 　恒运昌公司董事长乐卫平在展会现场介绍说，此次展出的射频电源、匹配器与阻抗调整器的系列产品全部为自主研发，其输出精度及稳定性已达到国际先进水平。公司在国内率先研制出全数字化、高精度、高稳定性等离子体射频电源系统，为半导体设备核心零部件国产化之路铺设基石。据了解，恒运昌展出的Aspen系列产品可支持7－14纳米半导体制程，目前已量产。

 　恒运昌是国内领先的集成电路装备核心零部件整体解决方案商。截至2025年6月30日，恒运昌已累计获得261项授权专利，其中发明专利108项，承担工信部、科技部三项国家级课题。公司参与制定的多项行业标准，正在推动整个产业链的技术进步。  　

 　相关数据显示，今年上半年，中国半导体设备进口额同比下降28%，国产半导体设备市场份额突破40%，国产替代进程正在加速。乐卫平表示，恒运昌将抓住半导体产业链国产化的历史机遇，持续开展核心技术攻关，丰富产品种类，提高技术先进性，助力国内半导体设备关键零部件的全面自主可控。